愛(ài)拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控
專(zhuān)注于微小氣體流量測(cè)量與控制
服務(wù)熱線：4008919886
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產(chǎn)品型號(hào)：MFC330
更新時(shí)間：2025-06-12
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪 問(wèn) 量 ：792
18168878188
產(chǎn)品分類(lèi)
我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器（以下簡(jiǎn)稱 MFC330），
主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡(jiǎn)潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡(jiǎn)便，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進(jìn)一步對(duì)氣體流量控制進(jìn)行溫壓補(bǔ)償；支持多種通訊協(xié)議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機(jī)等進(jìn)行通訊；具有多氣體測(cè)量，高 精度，高穩(wěn)定性，極低零漂等特性。
MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工
業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型 的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子刻
蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
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